| 轴向磁场对电弧离子镀TiN/Cu薄膜性能的影响 | |
| 赵升升; 赵彦辉; 陈伟; 费加喜; 王铁钢 | |
| 2018-05-25 | |
| 发表期刊 | 材料研究学报
 |
| 卷号 | 32期号:05页码:381-387 |
| 摘要 | 使用加可调轴向磁场的电弧离子镀设备在不锈钢基体上制备TiN/Cu薄膜,研究了轴向磁场强度对薄膜微观结构、化学成分、力学性能和耐磨性能的影响。结果表明,在不同强度的磁场下TiN/Cu薄膜具有相同的TiN结构,且以沿TiN(111)面的择优取向为主。随着磁场强度的提高(111)面衍射峰的强度逐渐提高、TiN/Cu薄膜表面的粗糙度先降低后提高、薄膜中Cu的含量逐渐提高、硬度和弹性模量也逐渐提高、薄膜的磨损率先降低后提高。当磁场强度为80 Gs时薄膜的硬度达到约为36 GPa的最大值,耐磨性能最高。 |
| 关键词 | TiN/Cu薄膜 轴向磁场 电弧离子镀 硬度 耐磨性 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/80225 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 通讯作者 | 赵升升 |
| 作者单位 | 1.深圳职业技术学院 2.中国科学院金属研究所 3.天津职业技术师范大学天津市高速切削与精密加工重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵升升,赵彦辉,陈伟,等. 轴向磁场对电弧离子镀TiN/Cu薄膜性能的影响[J]. 材料研究学报,2018,32(05):381-387. |
| APA | 赵升升,赵彦辉,陈伟,费加喜,&王铁钢.(2018).轴向磁场对电弧离子镀TiN/Cu薄膜性能的影响.材料研究学报,32(05),381-387. |
| MLA | 赵升升,et al."轴向磁场对电弧离子镀TiN/Cu薄膜性能的影响".材料研究学报 32.05(2018):381-387. |
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