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沉积温度对高功率脉冲磁控溅射AlCrSiN涂层结构和性能的影响
王铁钢; 李柏松; 张姣姣; 唐宽瑜; 刘艳梅; 姜肃猛
2018-08-15
Source Publication稀有金属材料与工程
Volume47Issue:08Pages:2578-2584
Abstract采用高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术在不同沉积温度下制备了Al-Cr-Si-N涂层。系统研究了沉积温度对涂层结构、成分、显微形貌、力学和摩擦学性能的影响。结果表明:随着沉积温度由100℃升至350℃,涂层内部开始由非晶向纳米晶转化,300℃时出现fcc-AlN相;涂层平整性和致密性逐步改善,膜/基结合强度逐渐提高,在300℃达到最大值77 N,但温度继续升高至350℃时,严重的轰击刻蚀作用使临界载荷骤降至25 N;涂层硬度逐渐增加,在350℃达到最大值19.4GPa;涂层内应力整体呈下降趋势,由–0.8 GPa逐渐降低至–0.4 GPa左右。
KeywordHiPIMS AlCrSiN涂层 沉积温度 力学性能 摩擦系数
Language中文
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.imr.ac.cn/handle/321006/80342
Collection中国科学院金属研究所
Affiliation1.天津职业技术师范大学天津市高速切削与精密加工重点实验室
2.中国科学院金属研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
王铁钢,李柏松,张姣姣,等. 沉积温度对高功率脉冲磁控溅射AlCrSiN涂层结构和性能的影响[J]. 稀有金属材料与工程,2018,47(08):2578-2584.
APA 王铁钢,李柏松,张姣姣,唐宽瑜,刘艳梅,&姜肃猛.(2018).沉积温度对高功率脉冲磁控溅射AlCrSiN涂层结构和性能的影响.稀有金属材料与工程,47(08),2578-2584.
MLA 王铁钢,et al."沉积温度对高功率脉冲磁控溅射AlCrSiN涂层结构和性能的影响".稀有金属材料与工程 47.08(2018):2578-2584.
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