IMR OpenIR
金丝键合短尾问题分析及解决
罗珏; 康敏; 赵鹤然; 丁红园; 曹丽华
2020-05-21
Source Publication微处理机
Volume41Issue:03Pages:17-19
Abstract金丝键合通常由金丝球超声键合完成。短尾是金丝球键合过程中一个典型的失效模式,详细分析了金丝球键合过程中第二点键合的四个关键步骤,分析了第二点键合形貌形成过程,分别研究了键合第二点各个区域与键合劈刀的位置关系,在此基础上详细分析了造成第二点键合金丝短尾的主要因素和机理,提出劈刀上升前后两种主要的短尾模式,得出键合参数是影响键合质量和键合强度的关键因素,给出了优化改进措施,提出通过降低超声功率和压力,或者通过优化原材料、劈刀,以便使用较低的工艺参数就可以完成键合,解决第二点键合短尾问题。
Keyword引线键合 金丝 第二点 短尾 失效模式
MOST Discipline CatalogueTN405
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.imr.ac.cn/handle/321006/82077
Collection中国科学院金属研究所
Affiliation1.中国电子科技集团公司第四十七研究所
2.中国科学院金属研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
罗珏,康敏,赵鹤然,等. 金丝键合短尾问题分析及解决[J]. 微处理机,2020,41(03):17-19.
APA 罗珏,康敏,赵鹤然,丁红园,&曹丽华.(2020).金丝键合短尾问题分析及解决.微处理机,41(03),17-19.
MLA 罗珏,et al."金丝键合短尾问题分析及解决".微处理机 41.03(2020):17-19.
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