| Nd：YAG脉冲激光诱导化学沉积银 | |
| 其他题名 | Pulsed Nd: YAG Laser Induced Chemical Deposition of Ag |
| 孙克1; 赵岩2; 张彩碚1; 李正林2 | |
| 2002 | |
| 发表期刊 | 东北大学学报：自然科学版
 |
| ISSN | 1005-3026 |
| 卷号 | 23.0期号:004页码:391-393 |
| 摘要 | Nd:YAG脉冲激光扫描照射射单晶Si基底表面AgNO3薄膜，薄膜热分解产生的Ag沉积在Si基底表面形成沉积线。在激光功率为2．8W，频率为35HZ时，最高扫描速度为9mm/s，SEM显示Ag颗粒均匀镶嵌在基底沉积线表面，AES研究沉积线表面元素随深度分布情况，以Ag颗粒为催化为中心，在沉积线表面选区化学镀铜，超声振动显示镀铜膜与基底有良好的结合力，简单分析了沉积线表面Ag颗粒形状及表面凹坑出现的原因。 |
| 关键词 | Nd：YAG脉冲激光 激光诱导化学沉积 选区化学镀 Si基底 硅基底 银 大规模集成电路 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:982053 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/89855 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 作者单位 | 1.东北大学 2.中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙克,赵岩,张彩碚,等. Nd：YAG脉冲激光诱导化学沉积银[J]. 东北大学学报：自然科学版,2002,23.0(004):391-393. |
| APA | 孙克,赵岩,张彩碚,&李正林.(2002).Nd：YAG脉冲激光诱导化学沉积银.东北大学学报：自然科学版,23.0(004),391-393. |
| MLA | 孙克,et al."Nd：YAG脉冲激光诱导化学沉积银".东北大学学报：自然科学版 23.0.004(2002):391-393. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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