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柔性基板上纳米尺度Cu/Ta多层膜的断裂机制 会议论文
第11届全国固体薄膜会议论文集, 杭州, 2008-10
作者:  朱晓飞;  李远平;  张滨;  张广平
收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2013/08/21
纳米多层膜  裂纹尖端  剪切型断裂  断裂机制  柔性基板