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Yield strength determination of TiN film by in-situ XRD stress analysis method 期刊论文
ECRS 6: PROCEEDINGS OF THE 6TH EUROPEAN CONFERENCE ON RESIDUAL STRESSES, 2002, 卷号: 404-7, 页码: 671-676
作者:  Qin, M;  Ji, V;  Xu, JH;  Li, JB;  Xu, KW;  Ma, SL
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yield strength  TiN film  biaxial stress  X-ray diffraction