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辉光放电灯中二元合金溅射率与化学组成的关系 期刊论文
金属学报, 1992, 期号: 5, 页码: 85-89
作者:  任建世,张功杼,王桢枢,刘根,刘圣麟
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二元合金  辉光放电  阴极溅射  溅射率