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热解氮化硼大口径坩埚及其在半导体工业中的应用 成果
1992
完成人/完成单位:  赵凤鸣;  何宏家;  夏德谦;  王勇;  刘同顺;  曹福年;  陈宏毅;  梁宗俊;  姜维新;  朱自明;  李伟;  谢自力;  程其祥;  隆雅琴;  陈宏亮
收藏  |  浏览/下载：145/0  |  提交时间：2013/07/24
大尺度  砷化镓  单晶制备  生产工艺  坩埚  氮化硼陶瓷  高温陶瓷