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磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究
期刊论文
原子能科学技术, 2005, 期号: S1, 页码: 88-93+103
作者:
郑华,刘实,于洪波,朱跃进,王隆保,施力群,刘超卓
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提交时间:2012/04/12
磁控溅射
Ti膜
氦
热解吸
磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究
会议论文
原子能科学技术, 上海, 2004-06-15
作者:
郑华
;
刘实
;
于洪波
;
朱跃进
;
王隆保
;
施力群
;
刘超卓
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提交时间:2013/08/21
磁控溅射
Ti膜
氦
热解吸
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