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一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201822033983.5, 申请日期: 2019-10-22,
发明人:  刘鲁生、姜辛、黄楠
收藏  |  浏览/下载：93/0  |  提交时间：2021/03/01