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应用于工具镀膜的磁场辅助离子镀弧源及其放电特性分析 期刊论文
真空, 2015, 期号: 1, 页码: 39-44
作者:  郎文昌;  徐焱良;  杜昊;  肖金泉;  高斌;  吴百中
收藏  |  浏览/下载：123/0  |  提交时间：2015/05/11
矩形平面大弧源  旋转式柱形弧源  机械式旋转磁控弧源  电磁式旋转磁控弧源  多模式动态磁控弧源