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氮化硅表面生长金刚石薄膜及其摩擦磨损性能研究 期刊论文
沈阳建筑大学学报. 自然科学版, 2017, 卷号: 33, 期号: 4, 页码: 688-695
作者:  张珂;  姜云浩;  陆峰;  刘鲁生;  翟朝峰;  黄楠
收藏  |  浏览/下载：135/0  |  提交时间：2021/02/26
金刚石  氮化硅  微波等离子体化学气相沉积  微观结构  摩擦磨损