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一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合靶材及应用 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2015-01-07, 公开日期: 2015-01-07
发明人:  孙超、常正凯、肖金泉、宫骏
收藏  |  浏览/下载：89/0  |  提交时间：2017/07/31
一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材及其应用 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2013-04-03, 公开日期: 2013-04-03
发明人:  孙超, 常正凯, 肖金泉, 宫骏, 华伟刚 and 陈育秋
收藏  |  浏览/下载：91/0  |  提交时间：2013/06/06
一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2012-07-11, 公开日期: 2012-07-11
发明人:  孙超, 常正凯, 肖金泉, 宫骏, 华伟刚 and 陈育秋
收藏  |  浏览/下载：80/0  |  提交时间：2013/06/06
一种用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合结构靶材 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2012-05-23, 公开日期: 2012-05-23
发明人:  孙超, 常正凯, 肖金泉, 宫骏, 华伟刚 and 陈育秋
收藏  |  浏览/下载：73/0  |  提交时间：2013/06/06
用于电弧离子镀沉积磁性材料涂层的复合结构靶材及应用 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-01-25, 公开日期: 2012-01-25
发明人:  孙超, 常正凯, 肖金泉, 宫骏, 华伟刚 and 陈育秋
收藏  |  浏览/下载：71/0  |  提交时间：2013/06/06