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TiN类薄膜的激光化学气相沉积 期刊论文
兵器材料科学与工程, 1999, 期号: 1, 页码: 41-44
作者:  张鸿俭,冯钟潮,张鹤
收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2012/04/12
Tin类薄膜  钛合金  激光化学气相沉积