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The microstructure and optical properties of SiNx deposited by linear microwave chemical vapor deposition 期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2015, 卷号: 64, 期号: 6
作者:  Zhang Jian;  Ba DeChun;  Zhao ChongLing;  Liu Kun;  Du GuangYu
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SILICON-NITRIDE FILMS  THIN-FILMS  PLASMA  PHOTOLUMINESCENCE  TEMPERATURE  SiNx thin film  linear microwave chemical vapor deposition  refractivity  deposition rate  
The microstructure and optical properties of SiNx deposited by linear microwave chemical vapor deposition 期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2015, 卷号: 64, 期号: 6
作者:  Zhang Jian;  Ba DeChun;  Zhao ChongLing;  Liu Kun;  Du GuangYu
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SILICON-NITRIDE FILMS  THIN-FILMS  PLASMA  PHOTOLUMINESCENCE  TEMPERATURE  SiNx thin film  linear microwave chemical vapor deposition  refractivity  deposition rate  
EB-PVD在热障涂层中的研究及应用 期刊论文
真空, 2013, 期号: 5, 页码: 6-8
作者:  王栋;  巴德纯;  杜广煜;  陈小龙;  宫骏
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电子束物理气相沉积  热障涂层  工艺特点  改进