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Fe-N/TiN多层膜中的层间耦合振荡 期刊论文
科学通报, 1996, 期号: 19, 页码: 1818-1820
作者:  王振军,常香荣,田中卓,肖纪美,闻立时,赖武彦
收藏  |  浏览/下载：73/0  |  提交时间：2012/04/12
多层膜  层间耦合  磁控溅射