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一种磁控管溅射装置 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2008-07-02, 公开日期: 2008-07-02
发明人:  肖金泉, 张小波, 孙超, 宫骏, 华伟刚, 石南林 and 闻立时
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一种磁控管溅射装置 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2007-04-18, 公开日期: 2007-04-18
发明人:  肖金泉, 张小波, 孙超, 宫骏, 华伟刚, 石南林 and 闻立时
收藏  |  浏览/下载：80/0  |  提交时间：2013/06/06