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三靶共溅射纳米复合Cr-Al-Si-N涂层的制备及摩擦学性能研究 期刊论文
表面技术, 2019, 卷号: 48, 期号: 09, 页码: 78-86
作者:  王铁钢;  蒙德强;  李柏松;  赵彦辉;  刘艳梅;  姜肃猛
收藏  |  浏览/下载：140/0  |  提交时间：2021/02/02
高功率脉冲磁控溅射  脉冲直流磁控溅射  三靶共溅射  纳米复合涂层  Cr-Al-Si-N涂层  N2/Ar流量比  临界载荷  摩擦系数  磨损率