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一种用离子束加工样品界面实现背射表征的方法 专利
申请日期: 2010-02-24, 公开日期: 2013-06-19
发明人:  谭军,张磊,张广平,谢天生
收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2013/06/19
一种用离子束加工样品界面实现背散射表征的方法 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2008-05-07, 公开日期: 2008-05-07
发明人:  谭军, 张磊, 张广平 and 谢天生
收藏  |  浏览/下载：55/0  |  提交时间：2013/06/06
一种用离子束加工样品界面实现背射表征的装置 专利
申请日期: 2007-11-28, 公开日期: 2013-06-19
发明人:  谭军 张磊 张广平 谢天生
收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2013/06/19
一种用离子束加工样品界面实现背散射表征的装置 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2007-11-28, 公开日期: 2007-11-28
发明人:  谭军, 张磊, 张广平 and 谢天生
收藏  |  浏览/下载：82/0  |  提交时间：2013/06/06
Cu-Ni多层膜纳米压痕下微观变形结构的研究 期刊论文
电子显微学报, 2005, 期号: 4, 页码: 278
作者:  谭军,谢天生,张广平
收藏  |  浏览/下载：95/0  |  提交时间：2012/04/12
多层膜:6249  纳米压痕:6182  微观变形:3638  微观结构:1553  Cu-ni:1540  表征:1371  压头:996  形貌:802  Cu膜:792  中国科学院:744