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添加Y改善离子镀氮化钛膜的结构与性能 期刊论文
物理学报, 1991, 卷号: 40.0, 期号: 009, 页码: 1520-1524
作者:  吴维Tao;  金桂京;  刘长青
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稀土元素  离子镀  氮化钛  镀膜