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Investigations of helium incorporated into a film deposited by magnetron sputtering 期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2007, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 2150-2156
作者:  Liu, Chao-Zhuo;  Shi, L. Q.;  Zhou, Z. Y.;  Hao, X. P.;  Wang, B. Y.;  Liu, S.;  Wang, L. B.
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磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究 会议论文
原子能科学技术, 上海, 2004-06-15
作者:  郑华;  刘实;  于洪波;  朱跃进;  王隆保;  施力群;  刘超卓
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磁控溅射  Ti膜  氦  热解吸  合金膜