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Multi-wafer 3C-SiC heteroepitaxial growth on Si(100) substrates 期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2010, 卷号: 19, 期号: 8, 页码: 5
作者:  Sun Guo-Sheng;  Liu Xing-Fang;  Wang Lei;  Zhao Wan-Shun;  Yang Ting;  Wu Hai-Lei;  Yan Guo-Guo;  Zhao Yong-Mei;  Ning Jin;  Zeng Yi-Ping;  Li Jin-Min
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3C-SiC  heteroepitaxial  multi-wafer  uniformity  
Multi-wafer 3C-SiC heteroepitaxial growth on Si(100) substrates 期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2010, 卷号: 19, 期号: 8, 页码: 5
作者:  Sun Guo-Sheng;  Liu Xing-Fang;  Wang Lei;  Zhao Wan-Shun;  Yang Ting;  Wu Hai-Lei;  Yan Guo-Guo;  Zhao Yong-Mei;  Ning Jin;  Zeng Yi-Ping;  Li Jin-Min
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3C-SiC  heteroepitaxial  multi-wafer  uniformity  
Multi-wafer 3C-SiC heteroepitaxial growth on Si(100) substrates 期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2010, 卷号: 19, 期号: 8, 页码: 5
作者:  Sun Guo-Sheng;  Liu Xing-Fang;  Wang Lei;  Zhao Wan-Shun;  Yang Ting;  Wu Hai-Lei;  Yan Guo-Guo;  Zhao Yong-Mei;  Ning Jin;  Zeng Yi-Ping;  Li Jin-Min
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3C-SiC  heteroepitaxial  multi-wafer  uniformity