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离子镀硬质膜技术的最新进展和展望 期刊论文
真空, 2000, 期号: 1, 页码: 1-11
作者:  闻立时,黄荣芳
收藏  |  浏览/下载：113/0  |  提交时间：2012/04/12
硬质新材料  多层复合  远离平衡态工艺  低温沉积  二重工艺