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基片温度对微晶硅薄膜微观结构和光学性能的影响 期刊论文
材料研究学报, 2011, 期号: 4, 页码: 408-412
作者:  程华;  王萍;  崔岩;  吴爱民;  石南林
收藏  |  浏览/下载：103/0  |  提交时间：2012/04/12
材料合成与加工工艺  微晶硅薄膜  Ecr Pecvd  吸收系数  光学带隙