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多模式交变耦合磁场辅助电弧离子镀弧源设计 期刊论文
真空科学与技术学报, 2015, 期号: 8
作者:  郎文昌;  赵战锋;  杜昊;  高斌;  王向红;  程岐生
收藏  |  浏览/下载：138/0  |  提交时间：2016/04/19
多模式交变耦合磁场  离子镀弧源  轴对称发散磁场  多模式反极性动态聚焦导引磁场  动态拱形耦合磁场