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热解石墨涂层用做外延基座材料 期刊论文
仪器制造, 1980, 期号: 1, 页码: 16-21+54
作者:  赵凤鸣
收藏  |  浏览/下载：80/0  |  提交时间：2012/04/12
石墨涂层:5433  热解石墨:4474  硅基座:3301  碳化硅:2703  高纯石墨:2560  玻璃碳:2460  涂层厚度:2405  硅外延层:2321  多晶硅:2238  工艺参数选择:1856