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微波等原子体化学气相沉积金刚石-石墨复合薄膜及其摩擦学性能研究 会议论文
TFC'15全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
作者:  田清泉;  黄楠;  杨兵;  郭宇宁;  庄昊;  刘鲁生;  姜辛
收藏  |  浏览/下载：151/0  |  提交时间：2016/04/20
复合薄膜  复合结构  磨损率  石墨相  柱状晶  晶粒尺寸  甲烷浓度  化学气相沉积  摩擦磨损试验机  拉曼光谱