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Ti-B-N薄膜结构与性能的初步研究 期刊论文
真空科学与技术, 1987, 期号: 1, 页码: 31-34
作者:  闻立时,陈秀芝,杨巧勤,郑玉芹,庄育智
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界面结合强度:5195  摩擦系数:4080  膜层厚度:3753  金刚石表面:3664  显微形貌:2887  化学组成:2882  综合性能:1842  优良性能:1837  膜结构与性能:1726  透射电子显微镜:1561