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多模式旋转磁场对电弧离子镀弧斑放电的影响分析 期刊论文
真空科学与技术学报, 2015, 期号: 6
作者:  郎文昌;  高斌;  杜昊;  肖金泉;  谢婷婷;  王向红
收藏  |  浏览/下载：158/0  |  提交时间：2016/04/19
机械式旋转磁控弧源  旋转不对称偏心轴向磁场  旋转偏心横向磁场  旋转偏心四极对顶磁场  旋转偏心拱形磁场