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旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响 期刊论文
真空科学与技术学报, 2015, 期号: 3
作者:  郎文昌;  赵彦辉;  肖金泉;  宫骏;  孙超;  于宝海;  闻立时
收藏  |  浏览/下载：137/0  |  提交时间：2016/04/19
旋转横向磁场  电弧离子镀  有限元分析  阴极弧斑运动  
电弧离子镀的旋转横向磁场弧源设计 期刊论文
真空科学与技术学报, 2013, 期号: 4, 页码: 387-391
作者:  赵彦辉;  郎文昌;  肖金泉;  宫骏;  孙超
收藏  |  浏览/下载：108/0  |  提交时间：2013/12/25
电弧离子镀  大颗粒污染  旋转横向磁场  弧源设计