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Ti/TiN多层膜显微结构的研究 期刊论文
硅酸盐学报, 1992, 期号: 5, 页码: 404-409
作者:  黄荣芳,郭丽萍,宫骏,于宝海,闻立时
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钛/氮化钛  多层膜  显微结构  晶粒细化应