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有机器件中低温低损伤磁控溅射沉积透明导电薄膜技术的研究进展 期刊论文
真空科学与技术学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1151-1157
作者:  雷浩;  王美涵;  肖金泉;  宫骏;  孙超
收藏  |  浏览/下载：96/0  |  提交时间：2014/02/18
有机器件  低温  低损伤  磁控溅射  综述