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Pt/TiO2气敏传感器的可靠性 会议论文
第九届全国化学传感器学术会议论文集, 江苏扬州, 2005-04-09
作者:  崔晓云;  冼爱平;  尚建库
收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2013/08/21
气敏传感器  Pt/tio2气敏材料  施主气体  受主气体  
脉冲激光溅射SnO2气敏膜￣① 期刊论文
云南大学学报(自然科学版), 1997, 期号: 1, 页码: 66-68
作者:  赵岩,冯钟潮,梁勇
收藏  |  浏览/下载：111/0  |  提交时间：2012/04/12
脉冲激光溅射  Sno2  气敏膜分类号tn304．21薄膜型传感器易于微型化  集成化  同半导体技术结合起来  制成性能稳定  低能耗  强功能的气敏器件  是气敏传感器的发展方向之一。制作薄膜气敏器件的关键技术之一是薄膜的生长技术。现在采用的有：蒸发法  溅射法  溶胶－凝胶（so