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掠射角溅射沉积纳米结构氧化钨薄膜 期刊论文
无机材料学报, 2018, 卷号: 33.0, 期号: 012, 页码: 1303-1308
作者:  王美涵;  温佳星;  陈昀;  雷浩
收藏  |  浏览/下载：117/0  |  提交时间：2021/02/02
氧化钨薄膜  纳米结构  掠射角  磁控溅射  
掠射角溅射沉积纳米结构氧化钨薄膜 期刊论文
无机材料学报, 2018, 卷号: 33.0, 期号: 012, 页码: 1303-1308
作者:  王美涵;  温佳星;  陈昀;  雷浩
收藏  |  浏览/下载：125/0  |  提交时间：2021/02/02
氧化钨薄膜  纳米结构  掠射角  磁控溅射