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Er2O3/Si薄膜界面层研究 会议论文
2010年全国电子显微学会议暨第八届海峡两岸电子显微学研讨会论文集, 杭州, 2010-10-08
作者:  汪雪;  朱银莲;  马秀良
收藏  |  浏览/下载：105/0  |  提交时间：2013/08/21
半导体器件  稀土氧化物  硅衬底