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硬质多元氮化物薄膜研究进展 期刊论文
表面技术, 2017, 期号: 6, 页码: 102-109
作者:  赵彦辉;  徐丽;  于海涛;  赵升升;  刘占奇;  于宝海
收藏  |  浏览/下载：123/0  |  提交时间：2017/08/17
硬质多元氮化物薄膜  组织结构  硬度  韧性  强韧化机制