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负偏压在电弧离子镀沉积TiN／TiCN多层薄膜中的作用 期刊论文
金属热处理, 2001, 卷号: 26.0, 期号: 007, 页码: 17-20
作者:  黄美东;  林国强;  董闯;  孙超;  蒋长荣;  黄荣芳;  闻立时
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电弧离子镀  负偏压  多层薄膜  氮化钛  碳氮化钛