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电弧离子镀沉积磁性薄膜的研究 期刊论文
金属学报, 2012, 期号: 5, 页码: 547-554
作者:  常正凯;  肖金泉;  陈育秋;  刘山川;  宫骏;  孙超
收藏  |  浏览/下载：105/0  |  提交时间：2013/02/23
电弧离子镀  磁性材料  有限元方法  磁场分布  复合结构靶材