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氢和铝掺杂的ZnO透明导电薄膜的制备和性能 学位论文
, 北京: 中国科学院金属研究所, 2011
作者:  鲁伟明
收藏  |  浏览/下载：105/0  |  提交时间：2013/04/12
射频磁控溅射  透明导电氧化物薄膜  Zno  低温沉积  表面功函数  应力  氢气