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HFCVD金刚石薄膜温度场的数值研究 期刊论文
金属学报, 2002, 期号: 11, 页码: 1228-1232
作者:  汪爱英,孙超,邹友生,黄荣芳,闻立时
收藏  |  浏览/下载：69/0  |  提交时间：2012/04/12
金刚石膜  辐照度  温度场  热传导  热丝化学气相沉积