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磁场模拟在磁控溅射/阴极弧离子镀中的应用 期刊论文
中国表面工程, 2015, 期号: 2
作者:  雷浩;  肖金泉;  郎文昌;  张小波;  宫骏;  孙超
收藏  |  浏览/下载：100/0  |  提交时间：2016/04/19
外加电磁线圈  磁控溅射  阴极弧离子镀  旋转磁场  弧源设计