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磁控溅射制备CrSiN涂层的结构及高温氧化性能 会议论文
, 中国广东清远, 2014
作者:  许向敏;  张豪;  周子皓;  罗飞飞;  多树旺;  李美栓
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非平衡磁控溅射  Crsin  抗高温氧化性能  涂层结构  合金基体  表面形貌  氧化过程  能谱仪  扫描电子显微镜  微观结构  
中频孪生靶非平衡磁控溅射纳米硅薄膜的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
作者:  高俊华
收藏  |  浏览/下载:109/0  |  提交时间:2013/04/12
中频孪生靶  非平衡磁控溅射  纳米硅薄膜  磁镜场  Middle Frequency Dual-target  Unbalanced Magnetron Sputtering  Nc-si Film  Magnetic Mirror Field