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成果 [1]
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2008 [1]
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高压热充氢制备纳米晶硅薄膜的方法及其专用设备
成果
2008
完成人/完成单位:
中国科学院金属研究所
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浏览/下载：49/0
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提交时间：2013/07/24
纳米晶硅薄膜
高压热充氢
尺度均匀
