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中频反应磁控溅射Al_2O_3薄膜的光学性质 期刊论文
东北大学学报(自然科学版), 2007, 期号: 5, 页码: 687-691
作者:  廖国进;  闻立时;  巴德纯;  刘斯明
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Al2o3薄膜  光学性质  折射率  吸收系数  膜厚度