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沉积温度对高功率脉冲磁控溅射AlCrSiN涂层结构和性能的影响 期刊论文
稀有金属材料与工程, 2018, 卷号: 47, 期号: 08, 页码: 2578-2584
作者:  王铁钢;  李柏松;  张姣姣;  唐宽瑜;  刘艳梅;  姜肃猛
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HiPIMS  AlCrSiN涂层  沉积温度  力学性能  摩擦系数