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The kinetics of diamond films growth over large area by hot-filament CVD 期刊论文
New Carbon Materials, 2005, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 229-234
作者:  A. Y. Wang;  P. L. Ke;  C. Sun;  R. F. Huang;  L. S. Wen
收藏  |  浏览/下载：91/0  |  提交时间：2012/04/14
Hot-filament Cvd  Diamond Films  Growth Kinetics  Simulations  Chemical-vapor-deposition  Cathode Dc-pcvd  Raman-spectroscopy  Thin-films  Stress  Phase