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Influence of N-2 gas pressure and negative bias voltage on the microstructure and properties of Cr-Si-N films by a hybrid coating system
期刊论文
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2008, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 1188-1194
作者:
Q. M. Wang
;
I. W. Park
;
K. Kim
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提交时间:2012/04/13
Cathodic Arc Plasma
Mechanical-properties
Sputtering Techniques
Substrate Bias
Nanocomposite Films
Ion-bombardment
Thin-films
Deposition
Temperature
Hardness
Study on magnesium ionization in cathodic sputtering glow discharge plasma
期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 1999, 卷号: 19, 期号: 6, 页码: 850-853
作者:
J. L. You
;
Z. S. Wang
;
G. S. Zhang
;
J. S. Ren
;
G. C. Jiang
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提交时间:2012/04/14
Glow Discharge
Cathodic Sputtering Atomizer
Atomic Absorption
Spectrometry
Ionic Absorption Spectrometry
Ionization Degree
Atomic-absorption Spectrometry
Atomization
Metals
Alloys
Copper
COATING THICKNESS DETERMINATION BY CATHODIC SPUTTERING GLOW-DISCHARGE ATOMIC-ABSORPTION SPECTROMETRY (GDAAS)
期刊论文
Analytical Letters, 1993, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 541-556
作者:
J. L. You
;
Z. S. Wang
;
G. S. Zhang
;
J. S. Ren
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浏览/下载:140/0
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提交时间:2012/04/14
Coating Thickness
Glow Discharge
Cathodic Sputtering
Atomic
Absorption Spectrometry