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Preparation of single-phase Ti2AlN coating by magnetron sputtering with cost-efficient hot-pressed Ti-Al-N targets 期刊论文
CERAMICS INTERNATIONAL, 2018, 卷号: 44, 期号: 14, 页码: 17530-17534
作者:  Li, Yueming;  Zhao, Guorui;  Qi, Hong;  Li, Meishuan;  Zheng, Yufeng;  Qian, Yuhai;  Sheng, Liyuan
收藏  |  浏览/下载：115/0  |  提交时间：2021/02/02
Cost-efficient target  Ti(2)AIN coating  Magnetron sputtering  Annealing  Crystallization  
Preparation of single-phase Ti2AlN coating by magnetron sputtering with cost-efficient hot-pressed Ti-Al-N targets 期刊论文
CERAMICS INTERNATIONAL, 2018, 卷号: 44, 期号: 14, 页码: 17530-17534
作者:  Li, Yueming;  Zhao, Guorui;  Qi, Hong;  Li, Meishuan;  Zheng, Yufeng;  Qian, Yuhai;  Sheng, Liyuan
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Cost-efficient target  Ti(2)AIN coating  Magnetron sputtering  Annealing  Crystallization