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磁控溅射Cu/Al多层膜的固相反应 期刊论文
金属学报, 2003, 期号: 1, 页码: 1-4
作者:  汪伟,卢柯
收藏  |  浏览/下载：73/0  |  提交时间：2012/04/12
磁控溅射  Cu/al多层膜  固相反应