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Comparative studies on damages to organic layer during the deposition of ITO films by various sputtering methods 期刊论文
Applied Surface Science, 2013, 卷号: 285, 页码: 389-394
作者:  H. Lei;  M. H. Wang;  Y. Hoshi;  T. Uchida;  S. Kobayashi;  Y. Sawada
收藏  |  浏览/下载：132/0  |  提交时间：2013/12/24
Damage To Organic Layer  Magnetron Sputtering (Ms)  Low Voltage  Sputtering (Lvs)  Kinetic-energy-control-deposition (Kecd)  Facing  Target Sputtering (Fts)  Pl Spectra  Thin-films  Tris-(8-hydroxyquinoline) Aluminum  Bombardment